Microfabricação Inteligente: Automação, Dados e Microsensores

A operação tem como objetivo central modernizar, digitalizar e qualificar a infraestrutura de microfabricação do INESC MN, reforçando a capacidade nacional em semicondutores, sensores avançados, biossensores e tecnologias deep tech. Pretende se dotar a infraestrutura de condições técnicas, digitais e operacionais que permitam aumentar a precisão, uniformidade, repetibilidade e rastreabilidade dos processos de microfabricação, assegurando níveis superiores de controlo de qualidade e sustentabilidade. Os objetivos específicos incluem: 1– Finalizar a infraestrutura da Sala Limpa com linhas de gases de alta pureza e instrumentação digital dos sistemas de suporte; 2– Adquirir, instalar e qualificar um sistema avançado de etching a plasma e um sistema de aquecimento em campo magnético, essenciais para a produção de sensores magnetoresistivos e microestruturas; 3– Implementar uma plataforma digital integrada que permita recolha automática de dados, monitorização em tempo real, alarmística, análise de variabilidade e rastreabilidade completa; 4– Qualificar um processo completo de biossensores em bolachas de 200 mm, demonstrando ganhos de eficiência e qualidade; 5– Reforçar competências internas através de formação avançada e atualização de procedimentos operacionais; 6– Garantir uma gestão técnica e financeira rigorosa, assegurando conformidade com o AAC e monitorização contínua dos indicadores. A operação contribui para a evolução dos TRL em áreas estratégicas: sensores magnetoresistivos (TRL 5–7), biossensores (TRL 3–5 até 4–6) e digitalização de processos (TRL 2–3 até 5). Estes avanços reforçam a capacidade nacional de produção experimental, a competitividade tecnológica e a integração em cadeias de valor europeias.